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检验平台是用来检验工件的平面度、平直度以及角度的公差值的,在机械的制造中,经常会用到检验平台是用来检验工件的平面度、平直度以及角度的公差值的。精密测试领域中大型工件形位误差的测试已经成为迫切需要解决的问题,而对于需要在检验平台上进行的一类精密测量,就需要更高准确度的大型检验平台作为检验零件的基准平面。因此,高准确度大型检验平台平面度测量方法的研究得到了越来越多的有关生产及科研部门的高度重视。
1、大型检验平台平面度测量方法,其特征包括下列步骤:
A、将平面扫描仪架设在被测量的大型检验平台(6)上,目标I、目标II、目标III围绕测微准直望远镜(2)放置,而且目标I和目标III平行于支脚AC的连线,目标II平行于支脚BC的连线,将光学头(5)转向目标I,并把测微准直望远镜(2)调焦到目标I上,然后通过调整支脚B的调整螺钉,使测微准直望远镜(2)十字线初步地对准目标I上目标带(9)的条纹图案;
B、将光学头(5)转向目标III,并检查目标III是否相当接近于测微准直望远镜(2)的十字线,如果相差较远,则转动平面扫描仪的测微鼓轮(8),使目标III接近于测微准直望远镜(2)的十字线,然后再把光学头(5)转向目标I,重复进行对目标I的A步骤所述调整;
C、将光学头(5)转向目标II,把测微准直望远镜(2)调焦到目标II 上,通过调整支脚A的调整螺钉,使测微准直望远镜(2)十字线与目标II 对中;
D、转动光学头(5),重新瞄准目标I,然后精调支脚B的调整螺钉,使所选定宽度的目标带(9)与测微准直望远镜(2)十字线对中;
E、再把光学头(5)转向目标III,把测微准直望远镜(2)调焦到目标 III上,然后转动平面扫描仪的测微鼓轮(8),使所选定宽度的目标带(9) 与测微准直望远镜(2)的十字线对中,得出光学测微器(4)这次变化量,然后把测微鼓轮(8)又调回它所转过刻度值的一半,最后重新调整支脚B 的调整螺钉,使目标III精确地与测微准直望远镜的十字线对中;
F、反复瞄准目标I和III,调整平面扫描仪的测微转轮(8)和支脚B的调整螺钉,直到二目标都与测微准直望远镜(2)的十字线精确对中为止。然后锁紧B支脚的调整螺钉; G、瞄准并调焦于目标II上,通过调整支脚A的调整螺钉使测微准直望远镜(2)的十字线与目标II精确对中,并锁紧支脚A的调整螺钉;
H、重新瞄准观察三目标,检查三者是否均与测微准直望远镜(2)的十字线对中,如果均对中,则完成了基准面的建立。
I、当基准面建立后,就可进行平台平面度的测量了,此时把目标IV放在要测量的位置上,然后用平面扫描仪的光学测微器(4)读出该位置对基准面的偏差;
J、按步骤I在需要测量的位置上逐点进行测量,这样大型检验平台(6)的平面度就可以被测量出,所测对基准面的偏差数据标注在测点分布图上,由分布图上找出最大偏差值和最小偏差值,经计算得出平面度,即: Δ=最大偏差值-最小偏差值。
这种测量方法适合大型检验平台的平面度测量,通用性强、速度快、测量精度高。